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零件型号
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- 适用于 4 英寸、6 英寸和 8 英寸晶圆
- 完全可寻址晶圆工作台
- 设计为使用真空镊子操作晶圆。
- 多次全自动测量
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晶圆结构变得越来越小，而集成组件的密度却不断增长。为了能够使用原子力显微镜以无损方式分析这些亚纳米结构，您需要对整个晶圆执行表面检查。安东帕的晶圆工件台是一款完美的附加工具，可使原子力显微镜 tosca 400 升级为全自动晶圆分析工具。
关键功能
测量最大 200 mm 的整片晶圆
灵活使用 tosca 400 的晶圆工件台，可对整片晶圆进行 afm 分析。您可以在此样品台上测量 100 mm、150 mm 和 200 mm 的晶圆。可使用晶圆真空吸盘固定晶圆。另外，使用标准样品台也可以自动测量多个晶圆碎片，3 分钟内即可完成样品台转换。
体验最直观的批次测量
在分析整片晶圆时，通过 afm 数据获得的代表性统计信息对于失效分析和工艺优化至关重要。我们的批次测量功能可完全自动执行这些任务。它提供直观的设置界面，可以在批次表中添加、编辑测量和重新定义现有的测量。可以创建和加载预定义的批次文件来执行标准化测量。借助 tosca 分析软件中的预定义模板，甚至可以完全自动分析这些测量结果。
随时查找和解决晶圆上每个点位的缺陷
集成晶圆自动配准功能，可通过绝对坐标提供全面导航。这样，您就能随时定位晶圆上的特定点位或进行重新定位，从而优化晶圆生产工艺。此外，您还可以从其他分析仪器中加载现有的坐标，在完全相同的位置上使用 tosca 执行 afm 分析。通过这种方式，可快速轻松地找到晶圆上的缺陷。
技术规格
| 晶圆尺寸 | 100 mm (4”)、150 mm (6”)、200 mm (8”) |
| 最大晶圆高度 | 2 mm |
安东帕认证服务
安东帕在服务和支持方面的质量：
- 全球超过 350 名制造商认证的技术专家
- 以当地语言提供的合格支持
- 在您的整个生命周期中保护您的投资
- 3 年质保
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零件型号: 173848